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純度≥99.995%。塵埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/L,雜質(zhì)含量N2≤10 cm3/m3,Ar≤5cm3/m3,H2O≤lcm3/m3,CO2≤0.5cm3/m3。無色無臭無味氣體。氧不可燃,但助燃。相對(duì)密度ds(21.1℃,空氣=1)1.105。氣體密度1.326kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液體密度1141kg/m3(- 182.96℃)。 沸點(diǎn)- 182.96℃。熔點(diǎn)-218.78℃。
高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積;作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑;干法氧化;與四氟化碳混合,用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì);在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。還可用于水質(zhì)處理。所有的氧化反應(yīng)和燃燒過程都需要氧,例如煉鋼時(shí)除硫、磷等雜質(zhì),氧和乙炔混合氣燃燒時(shí)溫度高達(dá)3500℃,用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產(chǎn)、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料,它比其他燃料更便宜。