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青島高純氣體氧氣是一種無(wú)色無(wú)臭無(wú)味氣體,分子式是O2純度≥99.995%。塵埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/L,雜質(zhì)含量N2≤10 cm3/m3,Ar≤5cm3...
青島高純氣體高純氧氣用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積;作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑;干法氧化;與四氟化碳混合,用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)...
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