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青島高純氣體氧氣是一種無色無臭無味氣體，分子式是O2純度≥99.995%。塵埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/L，雜質(zhì)含量N2≤10 cm3/m3，Ar≤5cm3...
青島高純氣體高純氧氣用于二氧化硅的化學氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)...
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