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特種氣體是指制造工藝過程中所需的硅基硅基原料，如在光電、微電子等領(lǐng)域，特別是大規(guī)模集成電路。其純度和清潔度將直接影響到光電產(chǎn)品.微電子元件的品質(zhì).集成度.具體技術(shù)指標(biāo)及優(yōu)良率，并從根本上限制電路及器件的性能及準(zhǔn)確性。
近年來，化合物半導(dǎo)體市場不斷擴(kuò)大，對特種氣體的需求日益增長?，F(xiàn)在化合物半導(dǎo)體主要分布于臺(tái)灣和日本的市場，近幾年來，中、寒兩國的發(fā)展勢頭強(qiáng)勁，北美。歐洲市場份額不斷增加。
半導(dǎo)體行業(yè)氣體種類多，質(zhì)量要求高，用量少，大多為有毒或腐蝕性氣體。多達(dá)百余個(gè)品種。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域，半導(dǎo)體行業(yè)特種氣體主要有：
1.硅族氣體：含硅基的硅烷類，例如硅烷、二氯二氫硅、乙硅烷等。
2.摻雜氣體：含硼.磷.砷等三族和五族原子之氣體，如三氯化硼..磷烷。
3.腐蝕清洗氣體：主要含有鹵化物和鹵碳化合物，例如磁吸.三弗化氮.溴化氫.四弗化碳.六氟烷等
4.反應(yīng)氣體：主要為碳系和氮的氧化物，例如二氧化碳。氨。氧化亞氮等等。
5.金屬氣相淀積氣體：含鹵化物金屬和有機(jī)烷類金屬，例如六氟化鎢.三甲基鎵等。
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