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高純氮氣在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學(xué)氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清...
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